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塑封開封方法研究

發布時間:2025-07-08 20:03:44

① 晶元開蓋(Decap)方法及全過程細節

晶元開蓋(Decap)是指在晶元失效分析時的一種檢測方法。其目的是為了深入研究集成電路的內部工作原理、製造工藝與性能之間的關系。數據手冊雖然提供了晶元的大量信息,但僅停留在表面,要設計出可靠、低功耗、高性能的晶元產品,必須對內部結構進行深入研究。

晶元封裝包含以下結構:導線架、塑膠或陶瓷外殼、連接線、硅晶片以及散熱底座。導線架用於連接硅晶片與電路板;外殼則保護硅晶片;連接線是金線或鋁線,用於連接硅晶片與導線架;硅晶片是核心組件,由高純硅、摻雜物和金屬構成;散熱底座由金屬製成,通過膠水粘在硅晶片上。

晶元開封通常採用物理或化學方法,逐步剝除封裝材料,實現內部結構的目檢和電氣測試。開封是進行晶元失效分析的關鍵手段,包括機械開封、酸刻蝕開封和等離子體開封等方法。

原理分析顯示,機械開封法使用鑽頭或刀具去除封裝材料,但速度慢、可控性差,不適合結構尺寸微小的晶元。酸刻蝕開封法利用強酸腐蝕塑封層,但形成廢液易造成環境污染,且開封過程不可控。

Decap即開封,開蓋或開帽,指的是通過局部腐蝕完整封裝的集成電路,使其暴露出來,同時確保晶元功能完整無損,便於後續的失效分析實驗。Decap後,晶元功能依然正常。

Decap適用於普通封裝、COB、BGA、QFP、QFN、SOT、TO、DIP、BGA、COB陶瓷、金屬等特殊封裝形式。常見的開封方法包括化學開封、機械開封、激光開封和等離子體開封。

化學開封法利用濃硝酸(98%)或濃硫酸作用於高分子樹脂,腐蝕形成低分子化合物,通過超聲波清洗,使樹脂層剝離,露出晶元表面。機械開封法通過加熱和物理工具去除封裝材料。激光開封法利用激光能量燒蝕封裝層。等離子體開封法則是利用等離子體蝕刻技術。

操作過程中,加熱板加熱至100-150度,使用吸管吸取發煙硝酸(濃度>98%)滴在產品表面,樹脂表面發生化學反應,氣泡冒出,經過滴酸、清洗多次直至露出晶元。在操作時需在通風櫃內進行,佩戴防酸手套,控制滴酸量和清洗頻率,避免過腐蝕,注意鑷子勿觸碰晶元和金絲,確保晶元表面清潔。

常用酸包括濃硫酸、濃鹽酸和發煙硝酸。濃硫酸具有強脫水性、吸水性和氧化性,用於一次性煮沸大量產品;濃鹽酸有強烈的揮發性和氧化性,用於去除晶元上的鋁層;發煙硝酸有強烈的揮發性和氧化性,用於開帽過程;王水則是一種強腐蝕性混合物,用於腐蝕金球。

本文內容總結了晶元開蓋(Decap)檢測的相關知識,旨在為讀者提供參考與幫助。

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