電鏡能譜分析儀使用方法

⑴ 掃描電鏡能譜分析可分析哪些元素

掃描電鏡能譜可以分析5號元素（B)及其以後的所有元素周期表中的元素，如：Na、Mg、S、P、Ca、K、Fe、Cu、Mn和Zn。

掃描電鏡能譜的主要用途：

1、固體樣品表面微區形貌觀察；

2、材料斷口形貌及其內部結構分析；

3、微粒或纖維形狀觀察及其尺寸分析；

4、固體樣品表面微區成分的定性和半定量分析。

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掃描電鏡能譜儀的原理及應用：

1、X射線能譜儀的工作原理

當電子槍發射的高能電子束進入樣品後，與樣品原子相互作用，原子內殼層電子被電離後，由較外層電子向內殼層躍遷產生具有特定能量的電磁輻射光子，即特徵X射線。X射線能譜儀就是通過探測樣品產生的特徵X射線能量來確定其相對應的元素，並對其進行相應的定性、定量分析。

2、掃描電鏡中X射線能譜儀的應用

微區分析中，掃描電鏡結合X射線能譜儀是微區形貌觀察和成分分析最常用的手段。能譜儀在不損壞試樣的情況下，可對樣品成分進行定性、定量分析，且分析速度快，靈敏度高，在材料科學、生物培養、醫學手術、地礦勘探等各個領域被廣泛應用。