① SEM和EPMA实验可以直接得到哪些信息
SEM是
扫描电子显微镜
，主要用于电子显微成像，接配电子显微分析附件，可做相应的特征分析，
最常用的是聚焦
电子束
和样品相互作用区发射出的元素特征
X-射线
，可用EDS或者WDS进行探测分析，获得微区（作用区）元素成分信息，而EDS或者WDS这类电子显微分析附件却来源于EPMA。
SEM就是一个电子显微分析平台，分析附件可根据用户需要来选配，有需要这个的，有需要那个的，因此
扫描电镜
结构种类具有多样性，从tiny、small、little
style，to
middle、large、huge
style.
就EDS或WDS分析技术来讲，在SEM上使用，基本上使用无
标样
分析，获得很粗糙的
半定量
结果。
而EPMA在SEM商品化10年前，就已经开始实用了，其主要目的，就是要精确获得微米尺度晶粒或颗粒的成分信息.
主要分析手段是WDS，一般配置4个WDS，基于此，EPMA结构比较单一，各品牌型号结构差距不大。EMPA追求电子显微分析结果精准，因此
电子光学
设计不追求高分辨，电子显微分析对汇聚束的要求相匹配即可。
早期EPMA成像手段主要采用同轴
光学显微镜
，然后移动样品台或移动汇聚电子束，找到感兴趣区，当前依然保留同轴光镜，用来校准WD。EMPA对电子光学系统工作条件的稳定性要求超过SEM很多很多，控制系统增加了一些
负反馈
机制，确保分析条件和标样分析保持很小的误差。