光刻膠厚度測量使用方法

Ⅰ 薄膜測厚儀的測量原理是什麼精度可以達到多少

在被測量的薄膜上垂直照射可視光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進薄膜，然後在膜與底層之間的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。利用白光干涉測量法的原理，它用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數據，由於反射率n和k隨薄膜的不同而變化，根據這一特性進行曲線擬合從而求得膜厚。不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的准確性。
大成精密設備薄膜測厚儀採用非放射性先進測量技術，是測量隔膜厚度的理想解決方案。

Ⅱ 怎樣測量薄膜厚度

可以用高精度的塗層測厚儀PD-CT2，下面墊一塊鐵基體，薄膜太軟了不行，可以用平頭有的測厚規來測，但是精度不高